真空爐系統主要組成部分有：
1.真空系統。
真空系統由機械泵、擴散泵、主路閥、旁路閥和高真空擋板閥等組成。機械泵為粗真空裝置,其動力源是1臺三相交流電動機,通過交流接觸器的吸合與斷開實現泵的工作與停止。高真空油擴散泵為高真空裝置,借助前級機械泵和擴散泵油及電爐加熱的作用完成高真空度要求的抽氣工作,通過交流接觸器的吸合與斷開控制其電加熱爐的通斷,進而控制擴散泵的動作與停止。
2.加熱系統。
加熱系統由加熱電源和加熱元件組成,加熱電源選用磁性調壓器,利用直流激磁電源實現無觸點的帶負載的平滑無級調壓,其直流激磁電源由功率調控器控制,而功率調控器利用溫控儀通過熱電偶檢測到的爐溫當前值與設定值之差,經PID運算,輸出4～20mA的直流信號,控制磁性調壓器中的磁飽和電壓,進而按溫控儀所設置的溫控曲線實現加熱電流和溫度的自動調控。
3.有關控制設備組成。
在所設計的分布式控制系統中,充分利用計算機強大的數據運算和處理功能,及時監控系統的工作狀態,尤其是引入智能PID參數的自動整定,進一步提升真空爐系統的控制指標。
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